半導体リソグラフィ用UVランプ

Labフォトリアクターの成否は、チャンバーに入射する光子フラックスの制御精度にかかっている。半導体リソグラフィの工程では、フォトレジストの活性化にクリーンで再現性の高いスペクトルエネルギーが求められる。広帯域光源では再現性を損なうばらつきが生じるため使えない。この問題を解決するには、スペクトルの純...