半导体光刻用紫外线灯

Lab光反应器的性能关键在于对照射腔室的光子通量的精确控制。在半导体光刻工艺中，光刻胶的活化需要干净且可重复的光谱能量。宽带光源会引入波动，破坏重复性。解决方案是基于光谱完整性定制的紫外灯。 核心参数 我们对灯具的规格要求是输出严格受控的光谱，锁定在365nm的汞谱线，FWHM小于10nm。如此窄...