Как добиться оптимальной концентрации спектрального излучения: секрет достижения уровня 0,5% в лампах на основе галлия ийода
Если вы занимаетесь производством печатных плат, вы знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Ширина трасс на печатной плате напрямую зависит от качества обработки фоторезиста.
Мы используем лампы на основе галлия ийода, потому что они обеспечивают излучение в очень узком диапазоне УФ-спектра — именно там наиболее чувствителен современный фоторезист. Большинство УФ-ламп имеют «широкий» спектр излучения; это подходит для простых задач, но для создания высокоплотных интерконнектов такой спектр приводит к появлению проблем: размытие краев трасс, дифракция света и множество других проблем.
Секрет заключается в сужении этого диапазона.
Наша команда потратила много времени на то, чтобы добиться концентрации спектральной энергии на уровне 0,5%. Речь не идет о повышении мощности лампы, а о ее контроле. Путем регулировки давления газа и повышения чистоты галлия ийода мы можем сузить диапазон излучения. Это предотвращает попадание «нежелательных» ультрафиолетовых волн в фоторезист. В результате края трасс становятся четкими и вертикальными. Это значительное улучшение по сравнению с обычными лампами.
Но есть один недостаток: такая высокая концентрация излучения создает большую нагрузку на кварцевую оболочку лампы. Чтобы избежать ее помутнения со временем, мы используем высокочистый синтетический кварц.
Также следует учитывать, что спектральный пик может немного смещаться при нагреве лампы. Чтобы этого избежать, мы используем стабилизированный источник постоянного тока. Таким образом, концентрация энергии остается неизменной даже во время длительной работы лампы.
Вот такова цена такого решения: когда концентрация спектрального излучения снижается до 0,5%, лампа становится чрезмерно чувствительной к колебаниям напряжения. Если напряжение нестабильно, спектральный пик смещается. Чтобы этого избежать, необходимо использовать лампы вместе со стабилизированным источником постоянного тока. Иначе качество обработки фоторезиста будет неоднородным.
Конечно, такие лампы не прослужат так долго, как старые лампы на основе ртути с широким спектром излучения. Но, честно говоря, когда видишь значительное снижение количества дефектов при обработке, это оправданная плата за такое улучшение.