http://uv-curing-wave.com/ja/tags/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93/ Recent content in 半導体 on UV Curing Wave Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 00:16:43 +0800 http://uv-curing-wave.com/ja/posts/uv-lamp-for-semiconductor-litho/ Tue, 02 Jun 2026 00:16:43 +0800 http://uv-curing-wave.com/ja/posts/uv-lamp-for-semiconductor-litho/ <p><img src="http://uv-curing-wave.com/images/d1feacc844a3f4a90d8eb4c4b8af0a2b.png" alt="半導体リソグラフィ用UVランプ"></p> <p>Labフォトリアクターの成否は、チャンバーに入射する光子フラックスの制御精度にかかっている。半導体リソグラフィの工程では、フォトレジストの活性化にクリーンで再現性の高いスペクトルエネルギーが求められる。広帯域光源では再現性を損なうばらつきが生じるため使えない。この問題を解決するには、スペクトルの純度を重視したカスタムUVランプが必要となる。</p>