반도체 리소그래피용 UV 램프

Lab photoreactors는 챔버에 도달하는 광자 플럭스를 얼마나 엄격하게 제어하느냐에 따라 성패가 결정된다. 반도체 리소그래피 작업에서는 포토레지스트 활성화에 깨끗하고 재현 가능한 스펙트럼 에너지가 필요하다. 광대역 광원을 사용할 경우 반복성이 파괴되는 변동이...